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羅茨网上配资機組的前級泵的選擇方法

時間:2017-08-05 14:12来源:网絡整理非公司發表 作者:网文寫手 點擊:
羅茨真空泵不能單獨使用,必須配上前級泵組成機組,使用前級网上配资是为了降低羅茨网上配资的排出壓力,由于羅茨网上配资的壓縮比是有限的,所以選擇前級网上配资的抽速是重要的,如右圖表明,羅茨网上配资的最大壓縮比是随排出壓力而變化的,在高排出壓力下,最大壓縮比最多大3:1,而最高壓縮比是在排出壓力为1到10mbar之間(1 mbar=0.75Torr)可达50:1,甚至更高些。

因此,選擇前級泵的抽速,要根據羅茨网上配资的長期工作壓力範圍考慮。

例如有一系統用羅茨网上配资機組抽氣,要求在1 mbar入口壓力時有600升/秒的抽速,并長期工作,問應選擇多大抽速的前級泵。

先假定用30升/秒的前級泵時,壓縮比K=600:30=20從上圖查得K=20時最大排出壓力为30 mbar。

由此得出,當選用30升/秒前級泵時,在入口壓力低于1.5 mbar以下工作是可行的,但高于1.5 mbar入口壓力工作時就選用大一些前級泵了。該例中,工作真空度1 mbar低于1.5 mbar,所以30升/秒的前級泵可以滿足上述真空系統的抽氣要求。

另外應當考慮的是,對預抽時間的要求問題,如果正常工作時間遠比預抽時間長,可選較小的前級泵;假如真空室較大,而且要求很快預抽,就要用較大的前級泵,有時为了更好發揮設備的效率,機組裝有較大的預抽泵,在正常工作後停掉它,而用較小的前級泵維持,这樣做是为了節約功率。

對羅茨网上配资機組的極限壓力的要求,也是選擇前級泵的必須考慮的,對極限真空度要求較高(达1X10-3Pa~1X10-2Pa壓力)一般選用雙級旋片式油封機械泵或雙級滑閥機械泵作为前級泵。極限真空度要求在(1X10-2Pa~1X10-1Pa)之間可選用單級油封機械泵作为前級泵,極限真空度要求在133~1333Pa之間可選用往複式网上配资或液環式网上配资作为前級泵。

當選用往複式或液環式粗网上配资作为羅茨网上配资的前級泵時,前級泵的抽速一般为羅茨网上配资的1/2-1/4,不能太大,否則将使壓縮比過大,造成羅茨网上配资的排氣溫度高而不能正常工作。

選用前級泵時還必須考慮被抽氣體中是否有腐蝕性介質,是否含有可凝性氣體,是大量的還是微量的。如果含有腐蝕性氣體,就不能選用油封機械泵,油封機械泵還不适宜抽除含有大量可凝性蒸汽的氣體,否則将會使密封液很快乳化,抽除含有微量可凝性蒸汽的氣體時,也必須采用帶有氣鎮裝置的油封機械泵作为前級泵。

为了獲得在低入口壓力(1~100pa)時的高的抽氣速率,可用一台羅茨网上配资作为另一台羅茨网上配资的前級泵組成的三級或四級機組,此時羅茨网上配资之間的抽速比一般在2~5之間。

通常,選配前級泵的原則如下:

1、要求前級泵造成主泵工作所需的預真空條件。


2、主泵允許的最大排氣壓力下,前級泵必須将主泵所排出的最大氣體量及時排走,前級泵的抽速須按照該泵在實際入口壓力時的實際抽速。



3、兼作預抽泵的前級泵要滿足預抽時間和預抽真空度的要求。
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